1 引言由于經濟原因促使半導體業朝著不斷縮小特征尺寸方向發展，隨之而來的技術進步導致了設備的成本以指數增長。由于成本的增長，人們對納米壓印光刻這一低成本圖形轉移技術的關注越來越多。通過避免使用昂貴的光源和投影光學系統，納米壓印光刻比傳統光刻...

納米壓印技術是目前納米溝道加工的主要技術。傳統的光刻技術主要是利用電子和光子改 變光刻膠的物理化學性質，進而得到相應的納米圖形。而納米壓印技術則可以在不使用電子和 光子的前提下，直接利用物理學機理機械地在光刻膠上構造納米尺寸圖形。正是由于這...

化學的使命在于創造或改良物質，而合成（synthesis）是必經之路。從中世紀的煉金術 開始，人們習慣于在玻璃器皿（燒瓶、燒杯）中操縱反應原料，獲得產物，并基于此建立起 龐大的合成帝國。然而，面對人類對新物質、新規律的不斷需求，傳統玻璃器皿...

我國雖然已成為世界半導體生產大國，但 面板產業整體產業鏈仍較為落后。 目前，上游電子化學品（LCD用光刻膠）幾乎全部依賴進口，須加快面板產業關鍵核心材 料基礎研究與產業化進程，才能支撐我國微電子產業未來發展及“地位”的確立。 彩色薄膜少了光...

光刻加工光刻膠材料有哪些？大家聽多了光刻機、蝕刻機以及nm工藝這樣的術語，對光刻膠還是十分陌生的。買回來的硅圓片經過檢查無破損后即可投入生產線上，前期可能還有各種成膜工藝，然后就進入到涂抹光刻膠環節。微 影光刻工藝是一種圖形影印技術，也是集...

光刻加工工藝的評價標準一個集成電路的制造過程（process flow）是由許多工藝單元（unit process）構成的， 每一個工藝單元的輸出就是下一個工藝單元的輸入。工藝單元之間的銜接和整合是由工藝集成 （process integr...